Российский 350-нм фотолитограф готов к массовому производству - «Технологии» » Электроника сегодня.
Российский 350-нм фотолитограф готов к массовому производству - «Технологии»
Изображение: ГК «Элемент» В ходе мероприятия «Микроэлектроника 2025» представители Зеленоградского нанотехнологического центра и компании «Отраслевые решения», включенной в структуру «Элемента», заключили соглашение о поставке первого отечественного фотолитографа, рассчитанного на 350-нм

Российский 350-нм фотолитограф готов к массовому производству - «Технологии»
✔ Технологии стоят у истоков любого изобретения. Благодаря им появляются новые устройства и материалы. В этом разделе вы найдете информацию о самых интересных технологиях современного хайтек мира.
Изображение: ГК «Элемент»


В ходе мероприятия «Микроэлектроника 2025» представители Зеленоградского нанотехнологического центра и компании «Отраслевые решения», включенной в структуру «Элемента», заключили соглашение о поставке первого отечественного фотолитографа, рассчитанного на 350-нм техпроцесс. В договоре прописаны поставка самого оборудования и его монтаж с последующей пусконаладкой.


Фотолитограф, созданный в ЗНТЦ, способен выполнять проекционный перенос схемы с подготовленного фотошаблона на полупроводниковую пластину, а также его мультипликации с нормой топологии 350 нм. Практически весь этап разработки шел в плотном сотрудничестве с белорусским предприятием «Планар».


Как уточнил гендиректор ЗНТЦ Анатолий Ковалев, специалисты компании завершили разработку оборудования с разрешением 350 нм, все расчетные параметры его работы проверены в производственных условиях и в настоящее время идет подготовка к массовому выпуску.


Это серьезный шаг для российского литографического оборудования, позволяющий перейти к созданию полностью отечественной установки с более тонкими 90-нм технологическими нормами.

Российский 350-нм фотолитограф готов к массовому производству - «Технологии»
Источник — Микрон
Цитирование статьи, картинки - фото скриншот - Rambler News Service.
Иллюстрация к статье - Яндекс. Картинки.
Есть вопросы. Напишите нам.
Общие правила  поведения на сайте.

{full-story limit="10000"}
Ctrl
Enter
Заметили ошЫбку?
Выделите текст и нажмите Ctrl+Enter
Мы в
Комментарии
Минимальная длина комментария - 50 знаков. комментарии модерируются
Комментариев еще нет. Вы можете стать первым!


Смотрите также
интересные публикации

       4a573d57